近日,浙江省經濟和信息化廳與浙江省財政廳聯合公布了2024年度浙江省首臺(套)裝備名單,晶盛機電12英寸硅片最終拋光設備成功入選,被認定為國內首臺(套)裝備,充分彰顯了晶盛在推動行業技術創新和半導體高端設備國產化的卓越貢獻。
■ 12英寸硅片最終拋光設備
作為國內半導體設備領域的領軍企業,晶盛機電始終圍繞“先進材料,先進裝備”的雙引擎可持續發展戰略,持續加速技術創新和產品研發。此次入選的 12英寸硅片最終拋光設備成功突破拋頭柔性均勻加壓等多項關鍵技術,有效提升晶圓表面均勻度,充分保證了產品的穩定性和可靠性,整體技術達到國際先進水平,在滿足大尺寸單晶硅片拋光需求的同時,實現關鍵核心零部件和耗材的自主研發及國產化替代,為我國高端集成電路大尺寸硅片制造及裝備的研發提供強力技術支撐。
■ 浙江省首臺(套)裝備公示
一直以來,晶盛機電始終堅持“打造半導體材料裝備領先企業,發展綠色智能高科技制造產業”的使命,致力于成為全球技術和規模雙領先的半導體設備企業,并通過自身力量不斷助推半導體高端設備國產化和產業技術進步。未來,晶盛將繼續深耕半導體和光伏領域,積極擁抱新技術、新趨勢,不斷提升創新能力和核心競爭力,以更加優質的產品和服務,為全球客戶創造更大價值。